UPH > 100pcs
Layout: 1.5m*1.5m
1. 重復測量精度：≤7μm；
2. 測量精度：≤10μm；
3. 測試范圍：＞160*130mm
4. 對焦焦距：能對高度為20mm Pin針底部進行測量；
5. 垂直度：不同位置墩子和插針可分別設置不同的基準坐標；并根據要求輸出相應數據。