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    項目中心

    Project Center

    核心工藝
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    組裝類別

    IGBT拱度測量設備

    UPH > 200 pcs

    Layout: 1.5m*1.5 m

    1. 同一個點重復測量精度:≤5μm;

    2. 測量精度:≤5μm;

    3. 測量分辨率:≤0.1μm;

    4. 有效測量范圍X×Y:600mm×600mm;Z軸:100mm;

    5. 工作平臺:平面度≤5μm;

    6. 測量方式:具備定點測量和線性掃描測量兩種方式;定點測試與線性測試使用時間與結果數據對比,按50個測量點測試。

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